♨️ Химия для микроэлектроники. Мнения

Нужно больше химических заводов!

России нужно опережающее развитие химической промышленности, в противном случае могут остановиться не только отдельные производства, но и целые отрасли.

Свое мнение в интервью для "Эксперта" высказывает ректор Российского химико-технологического университета имени Д. И. Менделеева (РХТУ) Илья Воротынцев. Интервью интересно целиком, но нам интересны упоминания тем, напрямую связанных с микроэлектроникой.

"Моя первая работа была связана с производством дихлорсилана, который используется при производстве полупроводников. Коллеги из институтов, когда шел развал, создали компанию, которая на собственные деньги, без государственной поддержки занималась высокотехнологичным производством высокочистых газов для микроэлектроники. В чистом виде малотоннажка. И полностью российская разработка".

"Я участвовал в проекте по производству газа моногерман (тетрагидрид германия), который тоже используется в микроэлектронике. У нас была совместная компания с Linde. Тоже была наша собственная разработка и технология, уникальный газ, килограмм которого стоил от 10 тысяч долларов. Это прямо идеально в малотоннажке, когда килограмм стоит 10 тысяч долларов, но потом компания не выиграла тендер «Самсунга», и производство закрылось. Выиграли американцы, у которых была государственная поддержка этой всей истории."

PS: Кстати, моногерман вроде бы предлагает некая HORSTechnologies
там же и дихлорсилан предлагают, и ряд других газов. Не знаю, что за компания. Имел ли кто-то из читателей с ней дела? Что скажете об опыте сотрудничества?
Вернемся к интервью:

"В настоящий момент мы строим четыре производственные линии по утилизации отходов первого и второго класса опасности. Строим четыре производства высокочистых кислот для микроэлектроники суммарным объемом 40 тонн в год и тем самым закрываем полностью наши потребности. Мы закончили работу по исходным данным для проектирования завода на 200 тонн по высокочистым газам для микроэлектроники. Сделано несколько хороших интересных проектов по водоподготовке и водоочистке. Действуем в парадигме, когда, условно, наши идеи плюс совместные подрядчики, и в итоге мы получаем совместный законченный промышленный объект."

Читать целиком: expert.ru

#микроэлектроника #газы #кислоты #химия #производствомикроэлектроники

🇷🇺 Высокочистые газы для микроэлектроники. Сделано в России

В Росэлектронике разработали технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов для микроэлектроники

Многие газы необходимого для производства микроэлектроники чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. В НПП "Салют" разработали технологии промышленного производства высокочистого моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого.

«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных – фтор, трехфтористый азот или бор. Например, арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. Моносилан широко применяется при изготовлении подложек и технологических слоев микросхем. Новые технологии «Росэлектроники» призваны заместить зарубежные материалы, которые использовались в производстве микроэлектронных изделий», – сказал исполнительный директор Ростеха Олег Евтушенко.

На НПП «Салют» созданы технологии получения смесей газов с определенным соотношением по составу и содержанию основных примесей, поставляемых в баллонах высокого давления, и арсина, фосфина, бора трехфтористого, поставляемых в баллонах низкого давления.

«Технологические газы используются на каждом этапе изготовления полупроводниковых приборов. В России до настоящего момента отсутствовало производство многих специальных газов требуемого уровня чистоты. Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства. Кроме того, в настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», – рассказал генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.

Источник: Ростех

#микроэлектроника #газы #высокочистыегазы

🇨🇳 🇳🇱 Материалы. Газы

Китайская Kaimeite Gases стала квалифицированным поставщиком ASML

В ASML сертифицировали ESG (electronic specialty gas - электронный специальный газ) производства Kaimeite Gases. Газ будет поставляться компании Cymer, дочернему бизнесу ASML.

Cymer известна прежде всего, как производитель эксимерных лазерных источников света. Компания разработала, производит и обслуживает источники УФ излучения, применяемые в DUV-фотолитографах. Эти литографы используют такие газы, как фторид аргона (ArF) и фторид криптона (KrF).

Kaimeite Gases - не первый китайский производитель EGS, прошедший проверку ASML. В частности были сертифицированы четыре гибридных газа, разработанные в Guangdong Huate Gas: аргон/фтор/неон (Ar/F/Ne), криптон/неон (Kr/Ne), Ar/Ne и Kr/F/Ne.

Активные попытки США исключить Китай из цепочек международных поставок приводят к тому, что растет домашний объем китайского рынка EGS, с 2017 по 2021 год он увеличился с 17,5 млрд юаней до 34,2 млрд юаней (среднегодовые темпы - 18%). Ожидается, что к 2026 году китайский рынок EGS достигнет 80,8 млрд юаней, то есть темпы роста сохранятся на прежнем уровне с небольшим увеличением до среднего темпа 17,76% в период с 2021 по 2026 год.

#материалы #газы #Китай #ESG