🔬 Фотоника. Научные исследования

Размеры элементов и их влияние на работу кремниевой фотонной схемы

(Далее читать стоит только тому, кто понимает в теме "кремниевая фотоника" и хорошо знает английский).

Техническая публикация "Учет влияния пространственных изменений на процессы в кремниевых фотонных схемах" представлена Исследовательской группой фотоники Гентского университета-IMEC.

Авторы предложили иерархическую модуль для выявления систематических изменений, зависящих от геометрии элементов волноводов и случайных изменений процесса на разных пространственных уровнях.

Кремниевые фотонные устройства очень чувствительны к изменениям процесса и геометрии элементов, для разработчиков схемотехники важно уметь прогнозировать эффекты этих изменений еще на этапе разработки, чтобы иметь возможность оптимизировать дизайн с точки зрения качества работы и повышения уровня выхода годных изделий.

Это требует наличия точной прогностической модели пространственных вариаций, связанных с процессом производства.

В статье представлен метод составления детальной карты разброса ширин и толщин волноводных линий на пластине с элементами кремниевой фотоники.

Предлагается иерархическая модель для разделения зависящих от макета (layout) и зависящих от местоположения систематического влияния на процессы а также случайных влияний процесса на различные пространственные уровни.

Выявлен относительный вклад изменений в ширине и толщине волноводных линий и использован для построения синтетической модели виртуальной пластины, которую можно использовать для анализа возможного влияния на поведение проектируемой схемы и, в конечном итоге, для прогнозирования производительности кремниевой фотонной схемы после ее изготовления.

Утверждается, что основной вклад в изменения ширины и толщины волноводов носит систематический характер и что систематическое изменение ширины волновода коррелирует с локальной плотностью паттерна.

Подробнее по ссылке pubs.acs.org

#фотоника
_______
Источник | #RUSmicro