이번 영상은 전 ASML EUV 광원 연구원과의 인터뷰를 바탕으로 구성했습니다.
우리가 보통 ASML 장비를 떠올릴 때는 초정밀 렌즈, 거울, 네덜란드 본사를 먼저 생각합니다.
하지만 실제 EUV 장비 안에서는 액체 주석 방울을 레이저로 때려 플라즈마를 만들고, 그 안에서 반도체를 찍는 13.5nm 빛을 뽑아내는 일이 벌어집니다.
이번 인터뷰에서는 ASML 출신 연구자에게 EUV 광원이 왜 장비의 생산성과 수율을 좌우하는 핵심 병목인지 직접 들어봤습니다.…