🇷🇺 Фотолитография. Фоторезисты. Импортзамещение

В Нижегородской области наладят выпуск литографических материалов

Темой занимается предприятие Polyketone (ООО Поликетон) в создаваемой в Нижегородской области "Квантовой долине" (ИНТЦ "Квантовая долина").

Чем занимается это предприятие?

Созданием полимерных пленкообразующих композиций с заданными свойствами для микро- и нанолитографии по проектным нормам от 160 до 10 нм (фоторезисты, антиотражающие покрытия, планаризирующий слой).

Предприятие ставит перед собой задачу замещения импортных фоторезистов, фоторезистами отечественного производства по конкурентным ценам.

Планируется 3 этапа проекта:

Этап 1. Разработка полимерных материалов для критических и некритических слоев многослойной структуры под требования технологического процесса с проектными нормами менее 160 нм.

Этап 2. Получение опытных образцов полимерных композиций, тестирование данных материалов на предприятиях производителях ИС. Оптимизация полимерных композиций в соответствии с требованиями и с целью достижения проектных норм 90-60 нм.

Этап 3. Организация опытного производства исходных полимерных материалов и приготовления готовых полимерных композиций для критических и не-критических слоев литографического процесса с проектными нормами менее 90 нм. Формирование ТУ и описания методик синтеза исходных полимерных компонентов. Отработка методик контроля готовых полимерных композиций согласно требованиям микроэлектронной промышленности.

Поликетон - одна из компаний, отобранных в резиденты создаваемого в Нижегородской области ИНТЦ "Квантовая долина" и готовая инвестировать в создание инфраструктуры ИНТЦ. Земля выделена в 2021 году, 140 тыс кв.м, первые объекты должны появиться в 2026 году (неспешно..). Участников привлекают в ИНТЦ обещанные государством налоговые льготы.

Видео: youtu.be

#микроэлектроника #фоторезисты #Поликетон #Нижегородскаяобласть