Установки фотолитографии — ключевое оборудование, необходимое при производстве микроэлектроники. Ведущим производителем фотолитографов в мире и практически монополистом в области самых современных EUV-литографов (EUV — Extreme Ultraviolet Lithography, экстремальная ультрафиолетовая литография) является голландская компания ASML, использующая в своих установках покрытия, разработанные членом-корреспондентом РАН, главным научным сотрудником Института физики микроструктур (ИФМ) РАН Николаем Салащенко, который в кооперации с командой разработчиков соответствующего источника излучения (также используемого ASML) из Института спектроскопии РАН сумел создать прототип собственного EUV-фотолитографа еще в 2012 году. Николай Николаевич мечтал, что его разработки помогут России обрести технологический суверенитет в этой важнейшей области экономики. Но этого не случилось. И это одна из причин того, что наша страна сейчас испытывает многочисленные проблемы при производстве микроэлектроники

Подробнее: https://stimul.online/articles/interview…

#литография #микроэлектроника #производствоэлектроники

https://stimul.online/articles/interview/vsye-kupim-ili-kak-my-pomogli-asml/