Мы разрабатываем технический проект отечественной установки электронно-лучевой литографии с минимальным размером элемента в резисте – 130-90 нм. В ходе разработки была создана оригинальная технология производства магнитных систем управления электронным пучком, которая будет реализована в опытных образцах установки с топологическим элементом 150 нм. Обе установки смогут обеспечить превосходное разрешение линий оригинального изображения, что значительно улучшит качество требуемой топологии.

Результат нашей почти 20-летней работы: объединение усилий ведущих научных, проектных и производственных организаций; четыре отечественные МОС-гидридные установки уникальной конструкции запущены и успешно работают (первая – уже 12 лет); еще четыре находятся в разных стадиях: от полной готовности к запуску до разгара проектирования. Цель всей работы – не импортозамещение (это важный побочный результат), а создание отсутствующего на мировых рынках специального технологического оборудования.

Применение новых видов полупроводниковых материалов позволяет создавать инновационные изделия с уникальными свойствами. Их освоение в производстве предполагает создание нового парка технологического оборудования. Зная свойства этих материалов и понимая, как они влияют на работу оборудования, можно использовать существующее оборудование с незначительными доработками, что значительно сократит затраты на внедрение новых технологий.

Советские ученые были пионерами в создании научных основ промышленной технологии выращивания монокристаллов карбида кремния. Их достижения использовались другими странами для создания массового производства этого широко востребованного материала для силовой электроники, светотехники, СВЧ-техники, современного транспорта и энергетики. Пришло время российских специалистов создать отечественное оборудование и технологии получения монокристаллов карбида кремния, соответствующие мировому уровню. 

По данным токийского института микроэлектроники, 63% дефектов на полупроводниковой пластине, возникающих в процессе создания прибора, связаны с газовой системой технологического оборудования. Таким образом, разработка современной элементной базы для газовых систем технологического оборудования в микроэлектронике является важнейшим фактором качества микросхем.

Особое значение в микроэлектронике имеет чистота газов непосредственно в точке потребления. Это требует применения финишных очистителей с высоким уровнем очистки и, в особенности, от кислородсодержащих и углеродных примесей, микрочастиц. Наличие молекулярных примесей выше уровня 1 ppb может существенно влиять как на выход годных на каждой отдельной технологической операции, так и на сквозной выход годных. Также это может приводить к образованию скрытых дефектов, проявляющихся уже на стадии эксплуатации готовых приборов.

Мы в своей работе сосредоточились на моделировании элементов энергонезависимой памяти, так как они лежат в основе нейроморфных систем и позволяют улучшить их свойства, повысить их функциональные возможности. Такие системы применяются во всех отраслях промышленности, особенно там, где требуется высокоскоростное распознавание изображений, звуков и запахов.

Нашей целью была разработка метода построения КМОП-ReRAM логических элементов, которые совмещают достоинства существующих видов мемристивной логики и обеспечивают повышение производительности и энергоэффективности вычислений прежде всего за счет выполнения логических операций за один такт с энергонезависимым сохранением текущих состояний в мемристорах.

Очувствление – это сравнительно новая технология. Речь идет о протезировании и о том, что, кроме управления мехатронной частью протеза, можно еще попробовать научить человека чувствовать то, к чему прикасается протез. Как правило, для этого в периферические нервы имплантируются микроэлектродные матрицы, которые связываются с пучками нервных волокон и можно, «прозванивая» каждый из электродов, увидеть, какой из нервов отвечает за чувствительность.

Информация, обрабатываемая мемристорной матрицей, хранится в ней же. Это отличает мемристоры от транзисторов, для сохранения результатов вычислений которых требуется внешняя память. С данным фактором связано главное преимущество вычислительных систем, построенных на мемристорной технологии – практически мгновенная обработка информации при отсутствии необходимости ее передачи из памяти в процессор и обратно.