Рассмотрена физика работы мощных высоковольтных ключевых транзисторов со статической индукцией с планарной конструкцией затвора. Показано, что разработанные в 90-е годы и доработанные сегодня транзисторы на Si по основным параметрам превосходят не только МОП ПТ и IGBT, но и приборы, построенные на широкозонных материалах SiC и GaN. К достоинствам данных приборов следует отнести простоту изготовления кристалла и, соответственно, их низкую себестоимость.

Реализованный реконфигурируемый систолический массив, благодаря возможности переключаться между режимами работы в зависимости от условий задачи, позволяет ускорять вычисления (Output-Stationary, в 27 раз меньше тактов, чем WS) или повышать их энергоэффективность (Weight-Stationary, в 1,5 раза меньше обращений к памяти, чем OS). Аппаратная поддержка INT8 и квантование данных сокращает объём передаваемых данных в четыре раза и снижает энергопотребление операции MAC в 16 раз.

В работе была создана система верификации МЭМС-акселерометров с учетом температурного и механического воздействия на испытуемые образцы. Результат – повышение точности исследуемых акселерометров, отклонение которых до измерений колебалось от -60…+20% от кажущегося ускорения, что невозможно без выявления индивидуальных температурных зависимостей работы.

Каждое МЭМС-изделие необходимо верифицировать для выявления индивидуальных особенностей и повышения точности.

Необходимость защиты электронных средств, в частности, инерциальных датчиков угловой скорости, мотивирует разработчиков искать и изобретать новые методы защиты, такие как герметизация, лакирование и т.п. Важно учитывать влияние технологии производства на точностные характеристики датчика, а именно – какой сигнал датчик выдаёт в покое. Тезис данного доклада – симбиоз сохранения характеристик датчика и надёжности его применения при любых внешних условиях. Методы, продемонстрированные в докладе, позволяют сохранить характеристику инерциального датчика с точностью до 5%.

Нашей командой разработан миниатюрный датчик угла наклона на базе МЭМС-акселерометра. Новый датчик позволяет проводить измерения с точностью до 0.01°, что еще не так давно было настоящим вызовом для инерциальных МЭМС.

Данная разработка может найти применение в строительстве, горизонтировании платформ, наведении спутниковых антенн и призвана заменить в этих областях зарубежные аналоги.